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美國ALICAT MS/MCS 系列耐腐蝕質(zhì)量流量計產(chǎn)品概述:
Alicat 的 MS 系列數(shù)字式質(zhì)量流量計可精、快速測量腐蝕性氣 體(如：NH3、H2S、SiH4 等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和 溫度。MCS 系列質(zhì)量流量控制器通過定制化的高速比例控制閥 還可精控制腐蝕性過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。
MS/MCS 系列質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器的核心部件是 Alicat 專有的層流壓差技術(shù)，確保在大流量情況仍然是線性流動，從而 補償了工藝溫度和壓力變化對質(zhì)量流量及體積流量產(chǎn)生的影響。 *有 Alicat 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器均具有 NIST 可溯源校準 證書。
MS/MCS 系列質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器采用全不銹鋼結(jié)構(gòu)及彈性密封材料，內(nèi)置 130/128 種標準氣體供 選擇。集成式多功能數(shù)字顯示屏允許用戶通過顯示屏按鈕操作便可進行氣體切換、設(shè)定值輸入及 PID 閥門 調(diào)節(jié)。MS/MCS 系列設(shè)備支持標準的模擬通訊和 RS-232 數(shù)字通訊模式，另有各類定制化選項供特殊項目 需求，如：用于危險環(huán)境的 ATEX(歐洲)1 類 2 區(qū)和 CSA(美國)1 類 2 區(qū)認證產(chǎn)品等。另有便攜式(MBS 系 列)質(zhì)量流量計可選。
美國ALICAT MS/MCS 系列耐腐蝕質(zhì)量流量計產(chǎn)品應(yīng)用:
Alicat 的 MS/MCS 系列數(shù)字式質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器為腐蝕性過程氣體應(yīng)用的首肯，如：半導體行業(yè) 等。多變量測量與控制、多種氣體標定以及 100:1 量程可調(diào)比使得僅用單臺 MS/MCS 系列質(zhì)量流量控制器 便可取代多臺設(shè)備的功效。很高可達 0.4%的精度、0.2%重復性及不到 100 毫秒的控制響應(yīng)時間很大程度優(yōu) 化了氣體控制過程。
MS/MCS 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器可測量與控制從 0-0.5 sccm 到 0-3000 slpm 的滿量程的任何流量。
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