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日本Horiba STEC SEC-E40MK3氣體質(zhì)量流量控制器主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類(lèi)、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實(shí)現(xiàn)了大幅度的成本降低。適合于定流量、長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場(chǎng)合。而且也同樣適用于研究所的簡(jiǎn)易流量控制。

日本Horiba STEC SEC-E40MK3氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

MARK3系列是在未改變質(zhì)量流量控制器所須品質(zhì)特性的條件下*底實(shí)現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品。材質(zhì)和泄漏規(guī)格則與一般型號(hào)產(chǎn)品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類(lèi)、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實(shí)現(xiàn)了大幅度的成本降低。適合于定流量、長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場(chǎng)合。而且也同樣適用于研究所的簡(jiǎn)易流量控制。

日本Horiba STEC SEC-E40MK3氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)：

高精度、流量設(shè)定后快速應(yīng)答(1秒之內(nèi))。

具有自動(dòng)調(diào)零功能。

日本Horiba STEC SEC-E40MK3氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：