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檢測控制范圍

5??100% F.S.

對象液體種類 *1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

液體粘度 *2

很大值. 0.1 Pa·s (100cp)

精度 *3

±1% F.S.

直線性 *3

±0.5% F.S.

重復性 *3

±0.5% F.S.

響應精度

3秒以內 (T98)

2秒以內 (T98)

使用環境溫度 *4

5??50℃ (15 ?? 45℃精度的確保)

溫度影響 Span

±0.1%F.S./℃　很大值±1%

工作差壓值值 *5

很大值. 5MPa (視為流量計) / 50??300kPa (with piezo 控制閥)

耐壓

10MPa (視為流量計)

壓力損失

很大值. 500Pa

流量設定信號

模擬：0.25??5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數字式：RS485(F-Net通信協議)

流量輸出信號

模擬：0??5 VDC(很小負荷電阻2kΩ) 數字式：RS485(F-Net通信協議)

驅動電源

+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏規格

5×10-12Pa·m3/s (He)

接液部材質

SUS316L, Ni

標準接頭

1/16”， 1/8” SWL類型， 

1/8” VCR 類型

1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型

1/4” SWL類型 

1/4” VCR 類型

檢測控制范圍

5??100% F.S.

對象液體種類 *1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

液體粘度 *2

很大值. 0.01 Pa·s (10cp)

精度 *3

±1% F.S.

直線性 *3

±0.5% F.S.

重復性 *3

±0.5% F.S.

響應精度

3秒以內 (T98)

2秒以內 (T98)

使用環境溫度 *4

5??50℃ (15 ?? 45℃精度的確保)

溫度影響Span

±0.1%F.S./℃　很大值±1%

工作差壓值 *5

0.05??0.3MPa

耐壓

1MPa

壓力損失

ー

流量設定信號

模擬：0.25??5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數字式：RS485(F-Net通信協議)

流量輸出信號

模擬：0??5 VDC(很小負荷電阻2kΩ) 數字式：RS485(F-Net通信協議)

驅動電源

+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏規格

PO 類型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO 類型： 5×10-12Pa?m3/s (He)

接液部材質

PO 類型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA　MO 類型： SUS316L，Ni

標準接頭

1/16” ， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型

1/8 SWL類型，

 1/8”VCR 類型

1/4” SWL類型

1/4” VCR 類型