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1

流量規格

 (100,150,200)L/min

2

調節閥類型

電磁調節閥

3

調節閥靜止狀態

常閉

4

安裝角度

任意

5

流量控制范圍

5%~100%

6

流量測量范圍

0~100%

7

響應時間

2s(T98,設定值的±2% F.S.)

8

工作環境溫度

5℃~50℃

9

精度保證溫度

15℃~35℃

10

精度

±1.0%F.S.

11

線性精度

±0.5%F.S.

12

重復性

±0.2%F.S.

13

工作壓差

(100/150/200)L/min:(100/150/200)~300kPa

14

耐壓

3MPa

15

泄漏率

1×10-8 Pa?m3/s (He)

16

接觸氣體材料

316L,PTFE,Viton氟橡膠

17

管路接頭

Swagelok:3/8″ Φ10  VCR:1/2″
VCR:1/4″3/8″

18

供電電源

±15VDC(±5%)  
+15V,<100mA;-15V,<200mA

+24VDC(寬電壓+11~+25V),
<350mA(+24VDC供電時)

19

設定信號

(0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ

4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V)

20

流量輸出信號

(0~5)VDC 負載能力≤3mA

21

電氣接頭

D-SUB15,D-SUB9

22

重量(kg)

2.8